Jellemzők:

1) A nitridálási sebesség gyorsabb, a nitridálási ciklus megfelelően lerövidíthető, és az ionos nitridálási idő a gáznitridálási idő 1/3-2/3-ára csökkenthető.

2) A nitridáló réteg ridegsége kicsi, a plazmanitridálás során a felületen képződő fehér réteg nagyon vékony, vagy egyáltalán nincs is. Ezenkívül a nitridáló réteg okozta deformáció kicsi, ami különösen alkalmas összetett alakú precíziós alkatrészekhez.

3) Energia- és ammóniafogyasztás takarítható meg. Az elektromos energiafogyasztás a gáznitridáláshoz képest 1/2-1/5-e, az ammóniafogyasztás pedig a gáznitridáláshoz képest 1/5-1/20-a.

4) A lokális nitridálás könnyen megvalósítható, amennyiben a nitridálást nem igénylő rész nem izzik, a nem nitridálódó rész könnyen védhető, az izzás mechanikai árnyékolással és vaslemezzel védhető.

5) Az ionbombázás automatikusan megtisztítja a felületet és eltávolítja a passziváló filmet. A rozsdamentes acél és a hőálló acél közvetlenül nitridálható a passziváló film előzetes eltávolítása nélkül.

6) Az összetett rétegszerkezet, az infiltrációs réteg vastagsága és szerkezete szabályozható.

7) A kezelési hőmérséklet-tartomány széles, és a nitridáló réteg bizonyos vastagsága akár 350 °C alatt is elérhető.

8) Javultak a munkakörülmények. A szennyezésmentes plazmanitridálást nagyon alacsony nyomáson, nagyon kevés kipufogógáz kibocsátásával végzik. A gázforrás nitrogén, hidrogén és ammónia, és alapvetően nem keletkeznek káros anyagok.

9) Mindenféle anyagra alkalmazható, beleértve a rozsdamentes acélt, a magas nitridálási hőmérsékletű hőálló acélt, a szerszámacélt és az alacsony nitridálási hőmérsékletű precíziós alkatrészeket, míg az alacsony hőmérsékletű nitridálás meglehetősen nehéz a gáznitridáláshoz.