A vákuumos karburálás célja a munkadarab vákuumban történő felmelegítése.Amikor eléri a kritikus pont feletti hőmérsékletet, egy ideig marad, gáztalanítja és eltávolítja az oxidfilmet, majd átadja a tisztított karburáló gázt karburáláshoz és diffúzióhoz.A vákuumos karburálás karburálási hőmérséklete magas, akár 1030 ℃, és a karburálási sebesség gyors.A karburált részek felületi aktivitását gáztalanítás és deoxidáció javítja.Az ezt követő diffúziós sebesség túl magas.A karburálást és a diffúziót ismételten és felváltva végezzük, amíg el nem érjük a kívánt felületi koncentrációt és mélységet.
A vákuumos karburálás mélysége és felületi koncentrációja szabályozható;Megváltoztathatja a fém alkatrészek felületi rétegének metallurgiai tulajdonságait, és effektív karburálási mélysége mélyebb, mint más módszerek tényleges karburálási mélysége.